Experimental study and modeling of extreme ultraviolet 4000 lines/mm diffraction gratings coated with periodic and aperiodic Al/Mo/SiC multilayers
Domaines
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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| Licence |
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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https://iogs.hal.science/hal-04355822
Soumis le : mercredi 20 décembre 2023-13:41:12
Dernière modification le : mardi 8 octobre 2024-18:40:02