Experimental study and modeling of extreme ultraviolet 4000 lines/mm diffraction gratings coated with periodic and aperiodic Al/Mo/SiC multilayers - Institut d'Optique Graduate School
Article Dans Une Revue Applied optics Année : 2024

Experimental study and modeling of extreme ultraviolet 4000 lines/mm diffraction gratings coated with periodic and aperiodic Al/Mo/SiC multilayers

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Soumis le : mercredi 20 décembre 2023-13:41:12

Dernière modification le : mardi 8 octobre 2024-18:40:02

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Dates et versions

hal-04355822 , version 1 (20-12-2023)

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Citer

Amr Hisham K. Mahmoud, Sébastien de Rossi, Evgueni Meltchakov, Blandine Capitanio, Muriel Thomasset, et al.. Experimental study and modeling of extreme ultraviolet 4000 lines/mm diffraction gratings coated with periodic and aperiodic Al/Mo/SiC multilayers. Applied optics, 2024, 63 (1), pp.30. ⟨10.1364/AO.505546⟩. ⟨hal-04355822⟩

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