EUV near normal incidence collector development at SAGEM
Renaud Mercier-Ythier
(1)
,
Xavier Bozec
(1)
,
Roland Geyl
(1)
,
André Rinchet
(1)
,
Christophe Hecquet
(2)
,
Marie-Françoise Ravet-Krill
(2)
,
Franck Delmotte
(2)
,
Benoit Sassolas
(3)
,
Raffaele Flamino
(3)
,
Jean-Marie Mackowski
(3)
,
Christophe Michel
(3)
,
Jean-Luc Montorio
(3)
,
Nazario Morgado
(3)
,
Laurent Pinard
(3)
,
Élodie Romeo
(3)
Christophe Hecquet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 177129
- IdHAL : christophe-hecquet
Franck Delmotte
- Fonction : Auteur
- PersonId : 913971
- IdHAL : franck-delmotte
- ORCID : 0000-0002-6769-6204
Christophe Michel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 762960
- ORCID : 0000-0003-0606-725X
- IdRef : 02976999X
Nazario Morgado
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1161281
- IdRef : 188983163