Optical, chemical, and depth characterization of Al/SiC periodic multilayers - Institut d'Optique Graduate School
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Optical, chemical, and depth characterization of Al/SiC periodic multilayers

Domaines

Optique [physics.optics]

Sébastien de Rossi  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://iogs.hal.science/hal-00661774

Soumis le : vendredi 20 janvier 2012-16:17:33

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Dates et versions

hal-00661774 , version 1 (20-01-2012)

Identifiants

Citer

Philippe Jonnard, Karine Le Guen, Min-Hui Hu, Jean-Michel André, Evgueni Meltchakov, et al.. Optical, chemical, and depth characterization of Al/SiC periodic multilayers. EUV and X-Ray Optics: Synergy between Laboratory and Space, Apr 2009, Prague, Czech Republic. pp.73600, ⟨10.1117/12.820913⟩. ⟨hal-00661774⟩

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